| 发明名称 |
研磨用组成物、研磨用组成物之制造方法及矽晶圆制造方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种矽晶圆之研磨中，可一方面抑制对表面品质之影响一方面提高研磨速率之研磨用组成物。依据本发明，提供用于研磨矽晶圆之研磨用组成物。该研磨用组成物包含表面具有复数个突起之二氧化矽粒子作为研磨粒。上述研磨用组成物进一步包含由氨及铵盐所组成之群选出之无机硷性化合物(A)。 |
| 申请公布号 |
TW201518491 |
申请公布日期 |
2015.05.16 |
| 申请号 |
TW103132789 |
申请日期 |
2014.09.23 |
| 申请人 |
福吉米股份有限公司 FUJIMI INCORPORATED |
发明人 |
井出匠学 IDE, SHOGAKU;高桥洋介 TAKAHASHI, YOSUKE;高见信一郎 TAKAMI, SHINICHIRO |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);C09G1/02(2006.01);C09G1/16(2006.01);C09G1/18(2006.01);B24B37/00(2012.01);B24B37/04(2012.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
