ＥＰＩ预热环;EPI PRE-HEAT RING

摘要

本揭示案的实施例一般地相关于具有用于加热处理气体的预热环的处理室。在一个实施例中，处理室包含一室主体，该室主体界定出一内部处理区域；一基板支持，该基板支持设置于该室主体内，该基板支持具有一基板支持表面以支持基板；及一预热环，该预热环放置于设置于该室主体内的一环支持上，其中该预热环的一部分相对于该基板支持表面以一预先决定角度向下偏斜朝着气体排放侧，以促使冲洗气体流动穿过气体排放侧较气体注射侧更多。