基板收纳容器

摘要

收纳由半导体晶圆所构成的基板，在被收容在整体被密闭的容器收容袋的状态下输送的基板收纳容器1具备：容器本体2、盖体、和外装零件5。容器本体2具有：本体内表面，系形成可以收纳复数片基板的基板收纳空间；和开口周缘部，系形成有和基板收纳空间连通的容器本体开口部。盖体3具备有盖体内表面和盖体外表面的盖体本体，可以对开口周缘部装卸，可以封闭容器本体开口部，当封闭容器本体开口部时，盖体内表面系和本体内表面一起形成基板收纳空间。外装零件5系安装在本体内表面以外的容器本体2的部分、盖体内表面以外的盖体本体的部分当中至少一个。对外装零件5施加退火处理。