| 发明名称 |
抗反射膜制造方法及溶液回收方法;METHOD OF MANUFACTURING ANTI-REFLECTION FILM AND METHOD OF SOLUTION RECYCLING |
| 摘要 |
一种抗反射膜制造方法，依序包含：提供一透明基板与一溶液套组、沉积一聚电解质层、进行一酸浴步骤、进行一成孔步骤、进行一乾燥步骤与进行一热处理步骤，藉此，抗反射膜制造方法可适用于大面积的基板。此外，抗反射膜制造方法具有减少溶液用量、降低成本与提高良率等优点。 |
| 申请公布号 |
TW201518090 |
申请公布日期 |
2015.05.16 |
| 申请号 |
TW102140500 |
申请日期 |
2013.11.07 |
| 申请人 |
国立云林科技大学 NATIONAL YUNLIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
王行达 WANG, SHINGDAR;张皓钧 CHANG, HAOCHUN |
| 分类号 |
B32B27/08(2006.01);C08J5/24(2006.01);C08J9/40(2006.01);C08F26/00(2006.01);C08F20/06(2006.01);C08G77/24(2006.01);C08J11/02(2006.01) |
主分类号 |
B32B27/08(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
云林县斗六市大学路3段123号 TW |
