光子源、度量衡装置、微影系统及元件制造方法;PHOTON SOURCE, METROLOGY APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

摘要

一种辐射驱动光源，其包含雷射及聚焦光学件。此等者产生聚焦于含有一气体(例如，Xe)之一第一容器内之一电浆形成区上的一辐射光束。收集光学件收集由该雷射辐射维持之一电浆发射的光子以形成一输出辐射光束。第一容器围封于一气密密封式第二容器内。在该第二容器内完全含有由于该输出辐射之紫外线分量而产生于该第二容器内的任何臭氧。第二容器进一步滤出该等紫外线分量。可代替雷射辐射来使用微波辐射以形成该电浆。