用于压印微影术之利用方向性图案化模板的液滴图案生成技术;DROP PATTERN GENERATION FOR IMPRINT LITHOGRAPHY WITH DIRECTIONALLY-PATTERNED TEMPLATES

摘要

一种压印微影术方法，其将可聚合材料之沈积小滴组成图案，该图案在当使用方向性图案化模板时，可改善填满时间性能。该图案以由沿着快以及慢速轴定位之小滴列之重覆组所形成之网格阵列为基础，每一列中沿着慢速轴之小滴，相对于邻近列中之小滴偏移。