发明名称 加工装置
摘要 本发明提供一种可对被加工物实施过加工之加工状态以3维进行验证的加工装置。解决手段为包含用以保持被加工物之被加工物保持手段、对保持在被加工物保持手段上的被加工物施行加工的加工手段,及将被加工物保持手段及加工手段沿加工进给方向(X轴方向)进行加工传送之加工进给手段的加工装置。并具有可于X轴方向、与X轴方向垂直之Y轴方向、与X轴方向及Y轴方向垂直之Z轴方向3维拍摄被保持在被加工物保持手段上之被加工物,并将所拍摄之影像信号输出的3维摄像机构、根据3维摄像机构所输出的影像信号以产生3维影像之处理手段,及将由处理手段所产生的3维影像输出之输出手段。
申请公布号 TW201518035 申请公布日期 2015.05.16
申请号 TW103123471 申请日期 2014.07.08
申请人 迪思科股份有限公司 DISCO CORPORATION 发明人 伊藤优作 ITO, YUSAKU
分类号 B24B49/12(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B24B49/12(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群陈文郎
主权项
地址 日本 JP