| 发明名称 |
放射线感应性树脂组合物以及电子元件 |
| 摘要 |
提供一种放射线感应性树脂组合物，其系含有具有酸性基之脂环式烯烃聚合物(A)、以下述通式(1)表示之鋶盐系光酸产生剂(B)、及交联剂(C)而成(上述通式(1)中，R 1 、R 2 、R 3 系各自独立地表示碳数6~30的芳基、碳数4~30的杂环基、碳数1~30的烷基、碳数2~30的烯基或碳数2~30的炔基，该等亦可具有取代基，a系1~5的整数)。 |
| 申请公布号 |
TW201518362 |
申请公布日期 |
2015.05.16 |
| 申请号 |
TW103130531 |
申请日期 |
2014.09.04 |
| 申请人 |
日本瑞翁股份有限公司 ZEON CORPORATION |
发明人 |
阿部聡 ABE, SATOSHI |
| 分类号 |
C08L101/08(2006.01);C08K5/375(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/312(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C08L101/08(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
