超音波洗净装置及超音波洗净方法

摘要

以减少将被洗净物进行洗净时所使用的洗净液的量为课题。本发明之超音波洗净装置系具备：超音波振动子(11)、与前述超音波振动子相接触而设的贮液部(12)、使洗净液(13)流入至前述贮液部内的流入口(12a)、及使前述洗净液流出至前述贮液部外的流出口(12b)，前述超音波振动子与前述洗净液相接触的接触面(11a)系被配置为比前述流入口及前述流出口各个为更低。