阵列基板及其制造方法;ARRAY SUBSTRATE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

摘要

一种用于电子显示器的阵列基板，包括一基板；在该基板上的一闸电极；在该闸电极上的一闸极绝缘层；在该闸极绝缘层上的一氧化半导体层；在该氧化半导体层上的一源极和一汲极；在该源极和该汲极上的一矽化物层；以及在该源极和该汲极上的一第一钝化层。该阵列基板和其制造方法防止用在电子显示器的驱动像素中之薄膜电晶体(TFT)的劣化。; a gate electrode on the substrate; a gate insulating layer on the gate electrode; an oxide semiconductor layer on the gate insulating layer; a source and a drain electrodes on the oxide semiconductor layer; a silicide layer on the source and drain electrodes; and a first passivation layer on the source and drain electrodes. The array substrate and fabrication method thereof prevent degradation of a thin-film transistor (TFT) used in driving pixels of the electronic display.