具有表面周期性光栅结构之光电元件装置及其制造方法

摘要

本发明系揭露一种具有表面周期性光栅结构之光电元件装置及其制造方法，至少包含有:一基板；一多层半导体结构层，系形成于该基板上；以及一周期性光栅结构层，系根据最佳化之参数而内嵌形成于该多层半导体结构层之中；其特征在于改变入射光源之方向，使与该多层半导体结构层产生共振之交互作用，藉以增强元件特性。而制造上述装置之方法，则包括:(1)提供一基板；(2)形成一多层半导体结构层于该基板上；(3)选择最佳化之参数于该多层半导体结构层之表面进行设计一周期性光栅结构；以及(4)透过蚀刻方式于该多层半导体结构层中内嵌形成一周期性光栅结构层。