碳材料及使用其碳材料之热处理用器具

摘要

本发明的目的系提供一种耐氧化性优异，同时亦可抑制对处理制品等之对象材料的附着之碳材料及热处理用器具。;其系于碳-碳化硼-碳化矽烧结体之碳质基材的表面，形成有由碳化矽所成保护层为特征者，上述保护层中之一部分的碳化矽系浸透至上述碳质基材的气孔中为理想，又，上述保护层的厚度系5.3μm以上为理想。