| 发明名称 |
制造四氟化矽之方法;METHODS FOR PRODUCING SILICON TETRAFLUORIDE |
| 摘要 |
本发明系关于一种视情况在矽源存在下藉由酸消化硷金属或硷土金属及铝之氟化物盐来制造四氟化矽之方法；制造矽烷之方法，其包括酸消化制造矽烷之副产物以产生四氟化矽。; methods for producing silane that include acid digestion of by-products of silane production to produce aluminum trifluoride or silicon tetrafluoride. |
| 申请公布号 |
TW201518211 |
申请公布日期 |
2015.05.16 |
| 申请号 |
TW104103064 |
申请日期 |
2010.12.29 |
| 申请人 |
ＭＥＭＣ电子材料公司 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. |
发明人 |
萨堤区 布沙拉普 BHUSARAPU, SATISH;潘尼特 古普塔 GUPTA, PUNEET |
| 分类号 |
C01B33/107(2006.01);C01B33/04(2006.01) |
主分类号 |
C01B33/107(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
美国 US |
