粘着テープ

摘要

本出願は、粘着テープ、研磨パッド、研磨パッドの製造方法、研磨装置及びガラス基板の製造方法に関する。例示的な粘着テープは、研磨材用粘着テープであることができる。上記粘着テープは、例えば、気泡などを発生させることなく、定盤などに効果的に固定されることができ、水と研磨液などや、研磨工程で加えられるせん断力に対する抵抗性に優れている。また、上記粘着テープは、研磨後、研磨パッド用キャリアまたは定盤などから残渣などを残すことなく、容易に除去されることができる。