FINE STRUCTURE, OPTICAL MEMBER, ANTIREFLECTION FILM, WATER-REPELLENT FILM, SUBSTRATE FOR MASS SPECTROMETRY, PHASE PLATE, PROCESS FOR PRODUCING FINE STRUCTURE, AND PROCESS FOR PRODUCING ANTIREFLECTION FILM

摘要

높은 반사방지 효과를 갖는 반사방지막 및 그의 제조 방법, 반사방지 효과가 우수한 광학 부재, 우수한 발수성을 갖는 발수성 막, 높은 검출 감도를 갖는 질량 분석용 기판, 고-정밀도 위상판, 및 이들에 사용될 수 있는 미세구조체 및 그의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 미세구조체는, 그의 표면 상에 복수의 원추부를 포함하며, 여기서, 원추부는 메소구조를 갖고; 메소구조는 메소세공을 갖는 구조를 포함하는, 구조체이다.