发明名称 |
一种氮化硼-石墨组合蒸发舟 |
摘要 |
本发明涉及一种氮化硼-石墨组合蒸发舟,具体的技术方案为:(1)以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷(如氮化硼/氮化铝复合陶瓷)制备成带蒸发槽的陶瓷舟。(2)以高纯细晶石墨制备成石墨发热体。(3)以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成薄板。将陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板用固定夹、石墨螺栓连接锁紧或用石墨压板、石墨压块压紧制备成组合是蒸发舟。该蒸发舟具有产品性能优良,工艺简单的特点,具有显著的经济和社会效益。 |
申请公布号 |
CN103088302B |
申请公布日期 |
2015.05.13 |
申请号 |
CN201310041677.5 |
申请日期 |
2013.02.04 |
申请人 |
福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 |
发明人 |
黄向东;曹志冠 |
分类号 |
C23C14/26(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/26(2006.01)I |
代理机构 |
福州元创专利商标代理有限公司 35100 |
代理人 |
蔡学俊 |
主权项 |
一种氮化硼‑石墨组合蒸发舟,其特征在于:包括陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板,所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体;所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成;所述陶瓷保温板是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板;所述陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板自上而下依次叠放并采用固定卡和/或石墨螺栓连接锁紧;所述薄板的厚度1~3毫米。 |
地址 |
350002 福建省福州市工业路50号福州大学机械厂房一层 |