| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING LAYERED POLISHING PADS |
| 摘要 |
<p>본 발명의 적층 원형 연마 패드의 제조 방법은, 원형 연마 시트에 동심원 홈 및 상기 동심원 홈의 홈 피치의 1/2 이상의 외주 영역을 형성하는 공정, 및 상기 원형 연마 시트와 지지층을 접착 부재를 통하여 접합하여 적층 연마 시트를 제작하는 공정을 포함한다. 상기 적층 원형 연마 패드의 제조 방법은, 연마층과 지지층이 쉽게 박리되지 않는 적층 원형 연마 패드의 제조 방법을 제공할 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150052269(A) |
申请公布日期 |
2015.05.13 |
| 申请号 |
KR20157008681 |
申请日期 |
2013.10.18 |
| 申请人 |
TOYO TIRE & RUBBER CO., LTD. |
发明人 |
KIMURA TSUYOSHI |
| 分类号 |
B24B37/11;B24B37/26;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/11 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
