| 摘要 |
<p>본 개시의 양상들은 비례 팩터들을 이용함으로써 메트롤로지 툴을 교정하기 위한 시스템들 및 방법을 설명한다. 비례 팩터들은 상이한 측정 조건들 하에서 기판을 측정함으로써 획득될 수 있다. 이어서, 측정된 메트롤로지 값 및 하나 이상의 품질 메리트들이 계산된다. 이 정보로부터, 비례 팩터들이 결정될 수 있다. 그 후, 비례 팩터들은 메트롤로지 측정에서 부정확도를 정량화하는데 이용될 수 있다. 비례 팩터들은 또한 최적화 측정 레시피를 결정하는데 또한 이용될 수 있다. 이 요약은 검색자 또는 다른 독자가 기술적 개시물의 주제를 빠르게 확인하는 것을 허용하게 하는 요약을 요구하는 규칙들에 따라 제공된다는 것이 강조된다. 이것은 청구항들의 범위 또는 의미를 해석하거나 제한하는데 이용되지 않을 것이라고 이해할 수 있게 된다.</p> |
