用于改进可UV交联的材料对衬底的粘附性的方法

摘要

本发明涉及改进由可通过曝露于紫外线而交联的材料制成的层对衬底粘附性的方法，还涉及包括至少一个实施所述方法的步骤以制造晶体管的方法。改进由材料M制成的层对衬底S表面粘附性方法的特征在于：材料M为可通过曝露于紫外线而交联的材料，且所述方法包括以下步骤：a)在衬底S至少一个表面上沉积未聚合但可聚合的含至少一种分子F的组合物P，分子F含有能通过曝露于紫外线而与材料M表面反应性基团M1起反应的第一反应性基团F1和能够与构成衬底S表面材料成键的第二反应性基团F2，b)向步骤a)所得未聚合组合物P的层上沉积由未交联材料M构成的层，以及c)使步骤b)所得三层结构曝露于紫外线。本发明尤其用于晶体管制造领域。

主权项

一种用于改进由材料M制成的层对衬底S的表面的粘附性的方法，其特征在于：‑所述材料M为可通过曝露于紫外线而交联的材料，并且所述方法包括以下步骤：a)在所述衬底S的至少一个表面上沉积未聚合但可聚合的包含至少一种分子F的组合物P，所述至少一种分子F含有能够通过曝露于紫外线而与所述材料M的表面的反应性基团M1起反应的第一反应性基团F1以及能够与构成所述衬底S的表面的一种或者更多种材料成键的第二反应性基团F2，b)向步骤a)中获得的未聚合组合物P的层上沉积由未交联材料M制成的层，以及c)使步骤b)中获得的三层结构曝露于紫外线，其中所述衬底S的表面包括由铝制成的区域，并且所述分子F的所述反应性基团F2为磷酸基团，所述材料M选自基于丙烯酸酯、尿烷丙烯酸酯、苯乙烯和/或二乙烯基醚的材料，所述分子F的所述反应性基团F1选自甲硅烷基和π‑共轭基团。