耐高温太阳能选择性吸收镀层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种耐高温太阳能选择性吸收镀层及其制备方法，所述镀层（膜系结构），是在成型基材表面，由内至外依次布置有金属底层（1）、钛-氮化钛第一防扩散层（2），氮铝化钛高填充因子吸收层（3），氮铝化钛低填充因子吸收层（4），钛-氮化钛第二防扩散层（5）和氮化铝减反射层（6），而所述制备方法，是以真空磁控溅射镀膜机为加工设备，以金属/玻璃成型材料基为载体，按照膜系结构由内至外依次分别连续镀膜的，具有所述镀层高温工作稳定，不易扩散，其制备方法工艺简单，工艺成本低，镀层质量好等特点。

主权项

一种耐高温太阳能选择性吸收镀层，包括以金属/玻璃成型材料基所作的所述镀层的载体，其特征在于：在以金属/玻璃成型材料基所作的所述镀层载体的一侧表面，由内到外依次有金属底层（1），钛‑氮化钛第一防扩散层（2），氮铝化钛高填充因子吸收层（3），氮铝化钛低填充因子吸收层（4），钛‑氮化钛第二防扩散层（5）和氮化铝减反射层（6）。