可调间距电极以及用于电镀装置的电镀阴极

摘要

本发明公开了一种可调间距电极。上述可调间距电极包含第一夹体及第二夹体及可调间距连接件。第一夹体具有第一夹持部；而第二夹体具有第二夹持部。其中，第一夹持部与第二夹持部相对，用以夹持且电性连接于待镀件。可调间距连接件连接于第一夹体及第二夹体，以调整第一夹体的第一夹持部与第二夹体的第二夹持部间的距离。本发明还公开了一种用于电镀装置的电镀阴极。

主权项

一种可调间距电极，其特征在于，包含：第一夹体，其具有第一夹持部；第二夹体，其具有第二夹持部，其中该第一夹持部与该第二夹持部相对，用以夹持待镀件，且该第一夹持部及该第二夹持部中的至少一个具有导电件，用以与该待镀件电性连接；以及可调间距连接件，其连接在该第一夹体及该第二夹体之间，以调整该第一夹持部与该第二夹持部之间的距离。