发明名称 |
氮化镓基发光器件的电极体系及其制作方法 |
摘要 |
一种氮化镓基发光器件的电极体系及其制作方法,其中氮化镓基发光器件,包括:一透明衬底;一第一半导体层,一有源层和一第二半导体层,所述第一半导体层与第二半导体层的导电类型相反;一P型接触层,位于空穴为多数载流子的第一半导体层或第二半导体层的表面,其为<img file="DDA0000655483670000011.GIF" wi="176" he="67" />的金属氧化物导电薄膜;一Ag或Al的反射镜,位于p型接触层上,所述Ag或Al的反射镜与p型接触层直接接触;一P电极焊盘,在Ag或Al的反射镜上,由多层金属组成,多层金属包含金属扩散阻挡层和焊接层。本发明可以增加透射率,提高发光器件的发光效率。 |
申请公布号 |
CN104617202A |
申请公布日期 |
2015.05.13 |
申请号 |
CN201510017329.3 |
申请日期 |
2015.01.13 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
郭金霞;王良臣;梁萌;王莉;黄亚军;伊晓燕;刘志强 |
分类号 |
H01L33/38(2010.01)I;H01L33/62(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/38(2010.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种氮化镓基发光器件,包括:一透明衬底;一第一半导体层,一有源层和一第二半导体层,所述第一半导体层与第二半导体层的导电类型相反;一P型接触层,位于空穴为多数载流子的第一半导体层或第二半导体层的表面,其为<img file="FDA0000655483640000011.GIF" wi="171" he="77" />的金属氧化物导电薄膜;一Ag或Al的反射镜,位于p型接触层上,所述Ag或Al的反射镜与p型接触层直接接触;一P电极焊盘,在Ag或Al的反射镜上,由多层金属组成,多层金属包含金属扩散阻挡层和焊接层。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |