| 发明名称 | 一种石墨烯生长设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨烯生长设备，包括多个真空阀，依次设置在相邻两个真空阀之间的进料装置、预热装置、沉积装置和降温装置，以及生长基底和传输板；所述生长基底放置在传输板的表面；所述进料装置、预热装置、沉积装置和降温装置依次传送传输板；所述进料装置和降温装置内的传送机构均采用传送带；所述预热装置和沉积装置内的传送机构均采用耐高温辊道；所述进料装置、预热装置、沉积装置和降温装置上均设有进气口和抽气口。本实用新型能够实现连续式生长大面积石墨烯，满足生产大尺寸产品的需求，缩短石墨烯的生长周期，有效提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204324885U | 申请公布日期 | 2015.05.13 |
| 申请号 | CN201420440782.6 | 申请日期 | 2014.08.05 |
| 申请人 | 常州二维碳素科技有限公司 | 发明人 | 周振义;刘志成;张文国;邓科文;张志华;杨海涛;张旭磊 |
| 分类号 | C01B31/04(2006.01)I | 主分类号 | C01B31/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人 | 徐琳淞 |
| 主权项 | 一种石墨烯生长设备，其特征在于：包括多个真空阀(5)，依次设置在相邻两个真空阀(5)之间的进料装置(1)、预热装置(2)、沉积装置(3)和降温装置(4)，以及生长基底(6)和传输板(7)；所述生长基底(6)放置在传输板(7)的表面；所述进料装置(1)、预热装置(2)、沉积装置(3)和降温装置(4)依次传送传输板(7)；所述进料装置(1)和降温装置(4)内的传送机构均采用传送带(8)；所述预热装置(2)和沉积装置(3)内的传送机构均采用耐高温辊道(9)；所述进料装置(1)、预热装置(2)、沉积装置(3)和降温装置(4)上均设有进气口(10)和抽气口(11)。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区经济开发区祥云路6号 | ||