快速获得阻挡层形貌的样品制备方法

摘要

本发明提出了一种快速获得阻挡层形貌的样品制备方法，在对初级样品进行减薄处理之后，将初级样品浸泡在化学药物中，从而去除金属导线，暴露出阻挡层的表面，有利于后续对样品进行透射，容易获得阻挡层表面的形貌，而无需采用EDS或EELS进行扫描，节省了测试的时间。

主权项

一种快速获得阻挡层形貌的样品制备方法，其特征在于，包括步骤：提供初级样品，所述初级样品设有待透射的两侧边和非透射的两侧边，所述初级样品包括介质层、金属导线和阻挡层，所述阻挡层形成在所述介质层上，所述金属导线形成在所述阻挡层上，所述金属导线和所述介质层之间由所述阻挡层隔离，所述介质层包围所述金属导线和阻挡层；在所述初级样品表面形成支撑层，所述支撑层位于所述金属导线和阻挡层上方；对所述初级样品进行减薄处理，使所述待透射的两侧边暴露出部分所述金属导线的侧壁；对所述初级样品进行化学药物浸泡，去除所述金属导线，暴露出所述阻挡层。