五电极微机械加速度计数字闭环控制电路及其接口电路以及五电极微机械加速度计系统

摘要

本发明提供一种五电极微机械加速度计数字闭环控制电路，其包括依次连接的电容读出前端电路、控制器、Σ-Δ调制器以及反馈电压产生电路，其中，所述控制器包括一积分器，该积分器用于使低频域的输入为零的所述电压信号输出不为零。此外，本发明还提供了一种包含该数字闭环控制电路的五电极微机械加速度计接口电路以及五电极微机械加速度计系统。

主权项

一种五电极微机械加速度计数字闭环控制电路，其特征在于，包括：电容读出前端电路，用于检测五电极微机械加速度计检测极板间差分电容，并转换为成比例的电压信号；控制器，接收所述电容读出前端电路输出的电压信号，并调节以改变所述五电极微机械加速度计和数字闭环控制电路组成的系统的开环传递函数，保证该系统的稳定性和动态性能，该控制器包括一积分器，该积分器用于使低频域输入为零的所述电压信号输出不为零；Σ‑Δ调制器，用于将所述控制器输出的信号转换成位流信号，并提供数字输出，以及反馈电压产生电路，包括检测电路和反馈电路，所述检测电路给所述五电极微机械加速度计的检测极板施加所述位流信号产生的载波，所述反馈电路根据所述位流信号产生的反馈信号作用于所述五电极微机械加速度计的反馈极板以及动极板上并产生反馈静电力，使所述五电极微机械加速度计的动极板处于平衡位置。