发明名称 液晶显示装置和半导体装置
摘要 本发明涉及液晶显示装置和半导体装置。在液晶显示装置的像素部中,第一晶体管包括第一栅电极、栅极绝缘层、第一氧化物半导体层、第一源和漏电极;氧化物绝缘层在第一源和漏电极上;像素电极经第一接触孔与第一源或漏电极电连接。在同一衬底上的驱动电路部中,第二晶体管包括第二栅电极、栅极绝缘层、第二氧化物半导体层、第二源和漏电极;氧化物绝缘层在第二源和漏电极上;第三导电层在氧化物绝缘层上;第二氧化物半导体层夹在第二栅电极和第三导电层间;通过加工同一导电膜形成第一及第二栅电极和第一导电层;第二导电层包括第二和第三接触孔中的区域;第三接触孔包括重叠于第二接触孔的区域;第一导电层经第二导电层与第二源或漏电极电连接。
申请公布号 CN104617103A 申请公布日期 2015.05.13
申请号 CN201510001758.1 申请日期 2010.08.04
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 山崎舜平;坂田淳一郎;坂仓真之;及川欣聪;冈崎健一;丸山穗高
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 罗银燕
主权项 一种液晶显示装置,包括:同一衬底上的像素部和驱动电路部,其中,所述像素部包括第一晶体管、像素电极和所述像素电极上的液晶层,其中,所述第一晶体管包括:第一栅电极;所述第一栅电极上的栅极绝缘层;所述栅极绝缘层上的第一氧化物半导体层;与所述第一氧化物半导体层电连接的第一源电极;以及与所述第一氧化物半导体层电连接的第一漏电极,其中,氧化物绝缘层在所述第一源电极和所述第一漏电极上,其中,所述像素电极通过所述氧化物绝缘层的第一接触孔与所述第一源电极或所述第一漏电极电连接,其中,所述驱动电路部包括第二晶体管、第一导电层和第二导电层,其中,所述第二晶体管包括:第二栅电极;所述第二栅电极上的所述栅极绝缘层;所述栅极绝缘层上的第二氧化物半导体层;与所述第二氧化物半导体层电连接的第二源电极;以及与所述第二氧化物半导体层电连接的第二漏电极,其中,所述氧化物绝缘层在所述第二源电极和所述第二漏电极上,其中,第三导电层在所述氧化物绝缘层上,其中,所述第二氧化物半导体层被夹在所述第二栅电极和所述第三导电层之间,其中,通过加工同一导电膜来形成所述第一栅电极、所述第二栅电极和所述第一导电层,其中,所述第二导电层包括在所述栅极绝缘层的第二接触孔中的区域,其中,所述第二导电层包括第三接触孔中的区域,其中,所述第三接触孔包括重叠于所述第二接触孔的区域,以及其中,所述第一导电层通过所述第二导电层与所述第二源电极或所述第二漏电极电连接。
地址 日本神奈川