研磨装置及研磨方法

摘要

本发明提供一种能够进行准确的研磨进度监视的研磨装置及研磨方法。研磨装置具有：支持研磨垫(1)的研磨台(2)；使研磨台(2)旋转的台用电动机(6)；顶环(3)，所述顶环(3)将基板按压在研磨垫(1)上并研磨该基板；修整器(26)，所述修整器(26)在基板的研磨过程中一边在研磨垫(1)上摇动，一边对研磨垫(1)进行修整；过滤装置(35)，所述过滤装置(35)将具有相当于修整器(26)的摇动周期的频率的振动成分从台用电动机(6)的输出电流信号中去除；以及研磨监视装置(40)，所述研磨监视装置(40)基于去除了振动成分的输出电流信号，对基板的研磨的进度进行监视。

主权项

一种研磨装置，其特征在于，包括：支持研磨垫的研磨台；使所述研磨台旋转的台用电动机；顶环，所述顶环将基板按压在所述研磨垫上并研磨该基板；修整器，所述修整器在所述基板的研磨过程中一边在所述研磨垫上摇动，一边对所述研磨垫进行修整；过滤装置，所述过滤装置将具有相当于所述修整器的摇动周期的频率的振动成分从所述台用电动机的输出电流信号中去除；以及研磨监视装置，所述研磨监视装置基于去除了所述振动成分的所述输出电流信号，对所述基板的研磨的进度进行监视。