发明名称 |
一种板条式激光器装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种板条式激光器装置,包括输出镜、波导电板、后腔镜、射频激励,所述波导电板包括上电板、下电板,均设置为矩形结构,所述上电板与射频激励输出端相连接,下电板接地;所述上电板设置为中空结构,上电板顶部设置有冷却水进口,冷却水出口;所述上电板、下电板之间形成矩形谐振腔;所述输出镜设置在波导电板前端;所述后腔镜设置在波导电板后端。本实用新型提供的一种板条式激光器装置,具有结构紧凑、坚固的特点,便于一体化集成设计,高的光束质量可以带来小的聚集光斑,从而可获得精密切割。 |
申请公布号 |
CN204333580U |
申请公布日期 |
2015.05.13 |
申请号 |
CN201420847281.X |
申请日期 |
2014.12.29 |
申请人 |
苏州凯锝微电子有限公司 |
发明人 |
刘思佳 |
分类号 |
H01S3/02(2006.01)I;H01S3/041(2006.01)I |
主分类号 |
H01S3/02(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种板条式激光器装置,包括输出镜、波导电板、后腔镜,其特征在于:还包括射频激励,所述波导电板包括上电板、下电板,均设置为矩形结构,所述上电板与射频激励输出端相连接,下电板接地;所述上电板设置为中空结构,上电板顶部设置有冷却水进口,冷却水出口;所述上电板、下电板之间形成矩形谐振腔;所述输出镜设置在波导电板前端;所述后腔镜设置在波导电板后端。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号 |