多边缘的图案化

摘要

本发明提供了一种具有多个亚分辨率元件的对准标记。每个亚分辨率元件具有小于能被对准工艺中的对准信号检测到的最小分辨率的尺寸。也提供了一种其上具有第一、第二和第三图案的半导体晶圆。第一和第二图案在第一方向上延伸，以及第三图案在垂直于第一方向的第二方向上延伸。通过在第二方向上测量的第一距离将第二图案与第一图案分离。通过在第一方向上测量的第二距离将第三图案与所第一图案分离。通过在第一方向上测量的第三距离将第三图案与第二图案分离。第一距离约等于第三距离。第二距离小于第一距离的两倍。本发明同样涉及了一种多边缘的图案化。

主权项

一种对准标记包括:多个亚分辨率元件；其中：每个所述亚分辨率元件具有的尺寸为能被对准工艺中使用的对准信号检测到的最小分辨率的函数；所述每个亚分辨率元件的所述尺寸小于能被所述对准信号检测到的所述最小分辨率；在晶圆上形成所述对准标记，并且其中每个所述亚分辨率元件包括被间隔膜包围的开口，并且其中，所述多个亚分辨率元件包括由第一间隔件限定的第一亚分辨率元件和由第二间隔件限定的第二亚分辨率元件，所述第二间隔件围绕所述第一间隔件，并且所述第一间隔件和所述第二间隔件共中心。