阵列基板及阵列基板上扇出导线的制作方法、显示装置

摘要

本发明实施例提供阵列基板及阵列基板上扇出导线的制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，能够减小阵列基板的扇出线路的线间距，制备出满足窄边框技术要求的阵列基板。本发明的阵列基板包括：基板；设置于基板上的栅绝缘层；设置于栅绝缘层上的扇出线路，扇出线路包括多条扇出导线，扇出导线包括设置于栅绝缘层上的非晶硅层、欧姆接触层以及源漏极层，扇出导线是通过在源漏极层上形成第一光刻胶，并对第一光刻胶进行半曝光显影工艺后，对非晶硅层、欧姆接触层、源漏极层、第一光刻胶采用刻蚀工艺，然后剥离第一光刻胶，形成第二光刻胶，对第二光刻胶进行全曝光显影工艺，以及对非晶硅层采用刻蚀工艺所形成的。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：基板；设置于所述基板上的栅绝缘层；设置于所述栅绝缘层上的扇出线路，所述扇出线路包括多条扇出导线，所述扇出导线包括设置于所述栅绝缘层上的非晶硅层、欧姆接触层以及源漏极层，所述扇出导线是通过在所述源漏极层上形成第一光刻胶，并对所述第一光刻胶进行半曝光显影工艺后，对所述非晶硅层、欧姆接触层、源漏极层、第一光刻胶采用刻蚀工艺，然后剥离第一光刻胶，形成第二光刻胶，对所述第二光刻胶进行全曝光显影工艺，以及对非晶硅层采用刻蚀工艺所形成的。