一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器

摘要

本发明公开了一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器，包括硅衬底，硅衬底的正面自下而上依次设有ZnO薄膜、SiO₂薄膜和半透明电极，硅衬底背面设有欧姆接触电极，所述ZnO薄膜和SiO₂薄膜之间设有MoO₃薄膜。本发明还公开了该电抽运随机激光器的制备方法，包括如下步骤：(1)在硅衬底正面采用射频磁控溅射沉积ZnO薄膜；(2)在ZnO薄膜上采用射频磁控溅射沉积MoO₃薄膜；(3)在MoO₃薄膜上采用溶胶-凝胶法沉积SiO₂薄膜；(4)在SiO₂薄膜上溅射半透明电极，在硅衬底背面溅射欧姆接触电极。与现有技术相比，本发明基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器的阈值电压显著降低，光输出功率明显提高。

主权项

一种基于ZnO薄膜的电抽运随机激光器，包括硅衬底，硅衬底的正面自下而上依次设有ZnO薄膜、SiO₂薄膜和半透明电极，硅衬底背面设有欧姆接触电极，其特征在于：所述ZnO薄膜和SiO₂薄膜之间设有MoO₃薄膜。