沉积薄膜膜厚分布测量系统

摘要

本发明涉及一种沉积薄膜膜厚分布测量系统，包括第一膜厚测试单元，真空腔体，膜厚测量仪和计算机；将若干第一膜厚测试单元组合成一维或多维阵列，固定在一个平面或空间的支架上，将若干第一膜厚测试单元并联连接成一个第一网络，置于真空腔体中，所述第一网络通过导线连接膜厚测量仪，所述膜厚测量仪连接计算机。本发明可以测量到厚度，平均速度，瞬间速度3种数据。本发明可以测量整个沉积过程中各个时间段沉积速度和厚度的分布图，对分析整个沉积过程极大的好处。

主权项

一种沉积薄膜膜厚分布测量系统，其特征在于，包括第一膜厚测试单元（10），真空腔体（6），膜厚测量仪（4）和计算机（5）；将若干第一膜厚测试单元（10）组合成一维或多维阵列，固定在一个平面或空间的支架上，将若干第一膜厚测试单元（10）并联连接成一个第一网络（11），置于真空腔体（6）中，所述第一网络（11）通过导线连接膜厚测量仪（4），所述膜厚测量仪（4）连接计算机（5）。