激光加工方法

摘要

一种激光加工方法，具备：改质区域形成工序，通过将激光（L）聚光于由硅形成的板状的加工对象物（1），沿着相对于加工对象物（1）的厚度方向朝向一个侧方侧倾斜的改质区域形成预定线（5b），在加工对象物（1）的内部形成多个改质点（10），通过这些多个改质点（10）形成改质区域（7）；以及蚀刻处理工序，在改质区域形成工序之后，对加工对象物（1）实施各向异性蚀刻处理，由此沿着改质区域（7）使蚀刻选择性地进展，在加工对象物（1）形成相对于厚度方向倾斜延伸的空间，在改质区域形成工序中，以邻接的改质点（10）的至少一部分从一个侧方方向看互相重叠的方式，形成多个改质点（10）。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于，具备：改质区域形成工序，通过将激光聚光于由硅形成的板状的加工对象物，沿着相对于所述加工对象物的厚度方向朝向一个侧方侧倾斜的改质区域形成预定线，在所述加工对象物的内部形成多个改质点，通过这些多个所述改质点形成改质区域；以及蚀刻处理工序，在所述改质区域形成工序之后，对所述加工对象物实施各向异性蚀刻处理，由此沿着所述改质区域使蚀刻选择性地进展，在所述加工对象物形成相对于所述厚度方向倾斜延伸的空间，在所述改质区域形成工序中，以邻接的所述改质点的至少一部分从所述一个侧方方向看互相重叠的方式，形成多个所述改质点，所述改质区域形成工序包含以下工序：以邻接的所述改质点的一部分从所述一个侧方方向看互相重叠的方式，让多个所述改质点一边在所述厚度方向上错开一边沿着所述改质区域形成预定线而形成，在所述改质区域形成工序中，对所述加工对象物，一边沿着与所述一个侧方方向正交的另一个侧方方向使所述激光的聚光点移动一边照射该激光。