| 发明名称 | 一种紫外探测器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法，以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极，且光激活层为非晶氧化物薄膜，该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn<sub>4</sub>Al<sub>x</sub>Sn<sub>7</sub>O<sub>1.5x+18</sub>，其中0≦x≦1.0。制备本发明的紫外探测器的步骤包括衬底准备步骤、光激活层形成步骤以及形成金属电极步骤，其中光激活层形成步骤为通过低温化学反应法形成化学式为Zn<sub>4</sub>Al<sub>x</sub>Sn<sub>7</sub>O<sub>1.5x+18</sub>的非晶氧化物薄膜。本发明制得的紫外探测器，暗电流为10<sup>-9</sup>~10<sup>-6</sup>A、光电流为10<sup>-8</sup>~10<sup>-5</sup>A，响应灵敏度为10~50。本发明使用的制备方法操作简单、成本低，制得的紫外探测器具有探测灵敏度高等优点，在军事、民用等领域具有重要的应用价值。 | ||
| 申请公布号 | CN104617178A | 申请公布日期 | 2015.05.13 |
| 申请号 | CN201510055267.5 | 申请日期 | 2015.02.03 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 吕建国;江庆军;孙汝杰;冯丽莎;朱恒伟 |
| 分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/076(2012.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人 | 张宇娟 |
| 主权项 | 一种紫外探测器，所述紫外探测器包含衬底（1）、光激活层（2）以及电极（3）和另一电极（4），其中光激活层（2）覆盖于衬底（1）上表面，两个电极相对设置于光激活层（2）之上；其特征在于：所述光激活层（2）为非晶氧化物薄膜，所述非晶氧化物薄膜的化学式为Zn<sub>4</sub>Al<sub>x</sub>Sn<sub>7</sub>O<sub>1.5x+18</sub>，其中0≦x≦1.0。 | ||
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||