基于碟型传感器阀的压电泵

摘要

本发明涉及一种基于碟型传感器阀的压电泵，属于微流体传输与控制技术领域。泵盖和阀盖分别通过螺钉安装在泵体的两侧；在所述泵盖和泵体之间通过密封圈压接有压电驱动器，在所述阀盖和泵体之间粘接有进口阀和出口阀；所述压电驱动器由压电薄膜和基板粘接而成；进口阀和出口阀都由环形压电薄膜和基板粘接而成，所述进、出口阀基板都开有通孔。所述压电驱动器、泵体、出口阀及进口阀共同构成泵腔；所述进口阀、出口阀及压电驱动器分别通过导线组与电控单元相连。特色与优势：利用具有传感功能的单向阀直接测量压电泵的输出压力和流量，故结构简单、测量精度的准确度及可靠度较高，且适于液体、气体以及气液混合物等不同介质的泵送过程中的实时监测。

主权项

基于碟型传感器阀的压电泵，其特征在于：泵盖和阀盖分别通过螺钉安装在泵体的两侧；在所述泵盖和泵体之间通过密封圈压接有压电驱动器，在所述阀盖和泵体之间粘接有进口阀和出口阀；所述压电驱动器由压电薄膜和基板粘接而成；进口阀和出口阀都由环形压电薄膜和基板粘接而成，所述进、出口阀基板都开有通孔；所述压电驱动器、泵体、出口阀及进口阀共同构成泵腔；所述进口阀、出口阀及压电驱动器分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连；采用出口阀或进口阀的输出电压V_g表征压电泵输出压力P和流量Q，即P＝k₁|V_g|、Q＝k₂|V_g|，其中k₁和k₂分别为压电泵输出压力及流量的标定系数。