具有可移动部件的半导体器件及其制造方法

摘要

本发明提供了一种微电子机械系统(MEMS)结构的实施例，该MEMS结构包括MEMS衬底；在该MEMS衬底上设置的半导体材料的第一导电塞和第二导电塞，其中第一导电塞被配置为用于电互连，以及第二导电塞被配置为抗静摩擦力凸块；被配置在该MEMS衬底上并与第一导电塞电连接的MEMS器件；以及盖顶衬底，该盖顶衬底接合至该MEMS衬底，从而该MEMS器件被封闭在MEMS衬底和盖顶衬底之间。本发明还提供了一种具有可移动部件的半导体器件及其制造方法。

主权项

一种微电子机械系统(MEMS)结构，所述MEMS结构包括：MEMS衬底；半导体材料的第一导电塞和第二导电塞，被设置在所述MEMS衬底上并嵌入同一第二介电材料层中，其中所述第一导电塞被配置为用于电互连，所述第二导电塞被配置为抗静摩擦力凸块；MEMS器件，被配置在所述MEMS衬底上，并且与所述第一导电塞电连接；以及盖顶衬底，接合至所述MEMS衬底，使得所述MEMS器件被封闭在所述盖顶衬底和所述MEMS衬底之间。