分束光栅子光束阵列的位相和光强测量装置和方法

摘要

一种分束光栅子光束阵列位相和光强的测量方法，其特点在于激光器发出的入射激光经第一分束镜分成两路：一路透射光经第一准直扩束器进行准直扩束成平面波后，垂直照射位于傅里叶透镜前焦面的分束光栅，经第一反射镜反射后，再经第二分光镜反射，最后进入CCD相机；另外一路反射光经第二反射镜反射后，先通过光开关，然后通过光学相位延迟器，然后通过第二准直扩束器后成为平面参考光，透射过第二分光镜，垂直入射CCD相机。CCD相机采集光场强度分布并将数据传输到计算机中进行处理。当光开关打开，可通过移相干涉法得到分束光栅子光束阵列的位相；当光开关关闭时，可直接得到分束光栅子光束阵列光强的分布。

主权项

一种分束光栅子光束阵列的位相和光强的测量装置，其特征在于其构成包括：激光器(1)发出的入射激光经第一分束镜(2)分成透射光和反射光：所述的透射光经第一准直扩束器(3)进行准直扩束成平行光后，垂直照射位于傅里叶透镜(5)前焦面的待测的分束光栅(4)，经第一反射镜(6)反射后，再经第二分光镜(7)反射，最后进入CCD相机(8)，所述的CCD相机(8)位于所述的傅里叶透镜(5)的后焦面，该CCD相机(8)与计算机(13)连接；所述的反射光经第二反射镜(9)反射后，先通过光开关(10)，然后通过光学相位延迟器(11)，然后通过第二准直扩束器(12)后成为平面参考光，透射过第二分光镜(7)垂直入射所述的CCD相机(8)。