晶圆夹持装置

摘要

本发明公开了一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括：基板；定位柱，所述定位柱设置于基板表面并突出于基板表面；定位块，所述定位块设置在基板边缘，且定位块设置有自基板边缘向基板中心延伸的挡片，所述定位块可远离基板边缘运动并可回复至扣合在基板边缘地设置；弹性复位装置，所述弹性复位装置在定位块远离基板边缘运动时产生弹性变形力，该弹性变形力具有使定位块回复至扣合在基板边缘的位置的趋势。本发明中的晶圆夹持装置，结构简单，使用方便，装夹及拆卸晶圆时间短，工序少，节省时间。

主权项

晶圆夹持装置，其特征在于，包括：基板；定位柱，所述定位柱设置于基板表面并突出于基板表面；定位块，所述定位块设置在基板边缘，且定位块设置有自基板边缘向基板中心延伸的挡片，所述定位块可远离基板边缘运动并可回复至扣合在基板边缘地设置；弹性复位装置，所述弹性复位装置在定位块远离基板边缘运动时产生弹性变形力，该弹性变形力具有使定位块回复至扣合在基板边缘的位置的趋势；所述基板包括基板本体及设置在基板本体上的固定齿，所述的固定齿的数目为两个以上，两个以上的固定齿沿圆周方向排列；定位块至少设置在其中一个固定齿上；所述的定位柱设置有端头，端头与基板表面具有与晶圆厚度相适应的间隙。