发明名称 | 化学镀的稳定催化剂 | ||
摘要 | 催化剂包括催化剂金属纳米微粒和镓酸或镓酸衍生物或其盐。该催化剂用于化学镀。该催化剂不含锡。 | ||
申请公布号 | CN102965646B | 申请公布日期 | 2015.05.13 |
申请号 | CN201210395214.4 | 申请日期 | 2012.08.17 |
申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | K·M·米鲁姆;D·E·克莱利;M·A·热兹尼克 |
分类号 | C23C18/30(2006.01)I;C23C18/31(2006.01)I | 主分类号 | C23C18/30(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 郭辉 |
主权项 | 一种将金属化学沉积到基底上的方法,所述方法包括:a)提供所述基底;b)把催化剂水溶液施加到基底上,该催化剂水溶液含有一种或多种选自银,金,铂,钯,铱,铜,铝,钴,镍,铜合金,镍合金和铁的金属纳米微粒,以及一种或多种选自具有以下通式所示化合物及其盐的稳定化合物:<img file="FDA0000655363810000011.GIF" wi="444" he="531" />其中R为‑H或‑(CH<sub>2</sub>)X‑CH<sub>3</sub>,x为选自2‑4的整数,以及R<sub>1</sub>,R<sub>2</sub>,R<sub>3</sub>,R<sub>4</sub>和R<sub>5</sub>为‑H或‑OH,其可相同或不同,条件是至少一个R<sub>1</sub>,R<sub>2</sub>,R<sub>3</sub>,R<sub>4</sub>和R<sub>5</sub>为‑OH;一种或多种稳定化合物的用量是50ppm至1000ppm,所述催化剂水溶液不含锡;以及;c)用化学镀槽将金属化学沉积到基底上。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |