一种硅片盒自动传送系统及传送方法

摘要

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，提供了一种硅片盒自动传送系统，包括输送车以及工艺设备，输送车上具有用于发出镭射光的镭射发射器；工艺设备的装载台可相对于工艺设备做水平方向上的运动，装载台上设有感光传感器面板、控制单元以及驱动单元；其中，感光传感器面板用于接收镭射光并确认装载台的位置和输送车的位置；控制单元将装载台的位置与输送车的位置进行对比，并确认待修正的距离，驱动单元用于接收控制单元反馈的待修正距离的信息，并调整装载台的位置。本发明由于装载台具备位置修正功能，因此工艺设备在前期安装的过程中，与轨道位置对准时的偏差容许量得以增加，从而大大减少工艺设备就位时耗费的人力和时间。

主权项

一种硅片盒自动传送系统，包括输送车以及工艺设备，所述输送车用于抓取硅片盒并沿着轨道行驶，所述工艺设备具有用于放置所述硅片盒的装载台；其特征在于，所述输送车上具有用于发出镭射光的镭射发射器；所述装载台可相对于所述工艺设备做水平方向上的运动，所述装载台上设有感光传感器面板、控制单元以及驱动单元；其中，所述感光传感器面板用于接收所述镭射发射器发出的镭射光，并确认所述装载台的位置和输送车的位置；所述控制单元将所述装载台的位置与输送车的位置进行对比，并确认待修正的距离，所述驱动单元用于接收所述控制单元反馈的待修正距离的信息，并调整所述装载台的位置，直至所述装载台的位置移动至输送车位置的正下方。