带有冷却特征的低轮廓传感器封装和制造其的方法

摘要

带有冷却特征的低轮廓传感器封装和制造其的方法。一种传感器装置和制造其的方法，其包括具有相对的第一和第二表面的硅基底，形成在第一表面处或第一表面中的传感器，形成在第一表面处的多个第一接触焊盘，其与传感器电耦合，和形成为第一沟槽的多条冷却通道，其延伸进入第二表面中但是没有到达第一表面。冷却通道代替地可以被形成在一个或多个分开的基底上，其附着于硅基底以冷却硅基底。

主权项

一种传感器装置，包括：具有相对的第一和第二表面的硅基底；形成在所述第一表面处或所述第一表面中的传感器；形成在所述第一表面处的多个第一接触焊盘，其与所述传感器电耦合；和形成为第一沟槽的多条冷却通道，其延伸进入所述第二表面中，但是没有到达所述第一表面。