一种激光微焦点等离子体K_α射线源

摘要

本发明提供了一种激光微焦点等离子体K_α射线源，本发明包括真空靶室系统，由真空管道连接的机械泵、分子泵；机械泵作为前级，分子泵通过法兰口与靶室相连；所述电磁辐射屏蔽层为圆筒形聚四氟乙烯层,通过螺栓固定于真空靶室壁；所述激光束聚焦装置为一块F/3离轴抛物镜，放置于真空靶室内固定底座上。靶运动系统，由六维步进电机和靶架组成，靶架位于靶室中心,望远瞄准系统中轴线上。望远瞄准系统，由一台长焦距望远镜以及可见光CCD组成，通过转接法兰连接到真空靶室上。电子束偏转装置为一块环形稀土永磁铁，位于在靶架之后,样品台之前。

主权项

一种激光微焦点等离子体K_α射线源，包括真空靶室系统、电磁辐射屏蔽层、激光束聚焦装置、靶运动系统、望远瞄准系统、电子束偏转装置、样品台、成像记录设备；其特征在于：所述真空靶室系统，由真空管道连接的机械泵、分子泵组成，其中机械泵作为前级，分子泵通过法兰口与靶室相连；所述电磁辐射屏蔽层为圆筒形聚四氟乙烯层,通过螺栓固定于真空靶室壁；所述激光束聚焦装置为一块F/3离轴抛物镜，放置于真空靶室内固定底座上，离轴抛物镜的中心高度与光束中心高度相同,焦平面通过在靶运动系统所包含的靶架上；所述靶运动系统，由六维步进电机和靶架组成，靶架位于靶室中心,望远瞄准系统中轴线上；所述望远瞄准系统，由一台长焦距望远镜以及可见光CCD组成，通过转接法兰连接到真空靶室上，望远瞄准系统的中轴线与电子束偏转装置的中轴线垂直；所述电子束偏转装置为一块环形稀土永磁铁，位于在靶架之后,样品台之前,电子束偏转装置的中心线与激光传输方向成一定夹角，磁铁的中心高度与光束中心高度重合；所述样品台为三维电控平移台；所述成像记录设备安装在样品台后方的靶室上，通过法兰与靶室连接；靶架、磁铁、样品台、成像记录设备共轴。