柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置

摘要

本发明公开了一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，适用于为厚度不大于50μm的薄膜镀膜的柔性卷绕镀膜设备中，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，工艺室包括镀膜鼓、环绕镀膜鼓的磁控溅射阴极系统、若干个传动辊，薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊、液压调节按钮、连接平整度调节辊与液压调节按钮的液压油管道，平整度调节辊呈香蕉状，分布在工艺室内相邻两个传动辊之间。本发明结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现在线控制薄膜平整度，提高了溅射镀膜的产品良率，尤其是厚度在50μm以下的薄膜镀膜产品良率，进而减少了生产成本，显著增加经济效益。

主权项

一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，工艺室包括镀膜鼓、环绕镀膜鼓的磁控溅射阴极系统、若干个传动辊，其特征在于，薄膜平整度在线控制装置包括平整度调节辊、液压调节按钮、连接平整度调节辊与液压调节按钮的液压油管道，平整度调节辊呈香蕉状，分布在工艺室内相邻两个传动辊之间。