发明名称 一种掩膜板的制作方法
摘要 本发明公开了一种掩膜板的制作方法,包括以下步骤:(1)测量环境温度T1;(2)将遮挡掩膜板的两端张紧,然后固定在掩膜板框架上,计算出所述遮挡掩膜板的形变量;(3)在所述掩膜板框架的左部区域和右部区域分别固定一块掩膜板,掩膜板的边沿与遮挡掩膜板重叠的部分长度相同;计算出掩膜板的形变量;(4)将所述固定有遮挡掩膜板及掩膜板的掩膜板框架放入加热房中加热至温度T2进行热膨胀;(5)在温度T2的环境下,对掩膜板与遮挡掩膜板之间的重叠区域进行焊接固定;(6)将掩膜板框架从加热房中取出,冷却至温度T1。本发明可以有效的减少因张紧力引起的收缩变形问题,提高了掩膜板的品质,适用于制造高PPI显示屏产品的掩膜板要求。
申请公布号 CN104611669A 申请公布日期 2015.05.13
申请号 CN201510095739.X 申请日期 2015.03.04
申请人 信利(惠州)智能显示有限公司 发明人 马得贵;吴俊雄;冉应刚;王红英;柯贤军;苏君海;李建华
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人 任海燕
主权项 一种掩膜板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、测量环境温度T1;步骤2、在温度T1的环境下,首先将遮挡掩膜板(2)的两端张紧,然后将遮挡掩膜板(2)的两端固定在掩膜板框架(1)的中间位置上,计算出所述遮挡掩膜板(2)由张紧力产生的形变量;步骤3、在所述掩膜板框架(1)的左部区域和右部区域分别固定一块掩膜板(3),掩膜板(3)的两端张紧固定在掩膜板框架(1)上位于遮挡掩膜板(2)的左侧的左部区域内及位于遮挡掩膜板(2)右侧的右部区域内,且位于掩膜板框架(1)左部区域的掩膜板(3)和位于掩膜板框架(1)右部区域的掩膜板(3)的边沿与遮挡掩膜板重叠的部分长度相同;计算出掩膜板(3)由张紧力产生的形变量;步骤4、将所述固定有遮挡掩膜板(2)及掩膜板(3)的掩膜板框架(1)放入加热房中加热至温度T2进行热膨胀,其中,温度T2根据遮挡掩膜板(2)和掩膜板(3)的形变量计算得出;步骤5、在温度T2的环境下,对掩膜板(3)与遮挡掩膜板(2)之间的重叠区域进行焊接固定;步骤6、将掩膜板框架(1)从加热房中取出,冷却至室温温度T1。
地址 516006 广东省惠州市仲恺高新区仲恺大道666号科融创业大厦13层