进气装置

摘要

一种进气装置，包括至少一个气体分散单元，该气体分散单元包括第一层筛板、第二层筛板和进气管，第一层筛板设有多个第一进气孔，第二层筛板设有多个第二进气孔；进气管包括多个支管，支管与第一进气孔连通。气体经由进气管输送并经由支管输送到第一进气孔中，然后穿过第一层筛板进入第一层筛板和第二层筛板之间，此时，多个第一进气孔对气体进行第一次分散，同时，当气体从第一进气孔逸出时受到第二层筛板的阻挡，从而使得第二进气孔对气体进行再次分散，然后再进入腔室进行沉积或刻蚀流程。经过两次分散的气体，使得腔室内气体分散均匀，产品的边缘和中间的沉积或刻蚀速率差别较小，得到的产品均匀性好。

主权项

一种进气装置，其特征在于，包括至少一个气体分散单元，所述气体分散单元包括：第一层筛板，设有多个第一进气孔；第二层筛板，设置于第一层筛板下方，与所述第一层筛板平行，所述第二层筛板设有多个第二进气孔，所述第一进气孔在所述第二层筛板上形成正投影，所述第一进气孔的正投影被所述第二进气孔围绕；以及进气管，包括多个支管，所述第一层筛板包括远离所述第二层筛板的第一表面以及靠近所述第二层筛板的第二表面，所述支管的端部靠近所述第一表面，所述支管与所述第一进气孔连通。