一种多晶炉管道自动控制装置

摘要

本实用新型提供一种多晶炉管道自动控制装置，涉及多晶炉制造技术领域，该装置用于连接真空腔室的抽气口和气冷系统的抽气管道，包括水冷套和套设在所述水冷套外部的真空波纹管，还包括分别设置在所述真空波纹管两侧的预紧机构和微调机构，可以控制所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面与所述抽气口的法兰贴合或脱开。本实用新型提供的多晶炉管道自动控制装置，能够自动控制真空腔室的抽气口与气冷系统的抽气管道的贴合或脱开，进而大大提高多晶炉的自动化程度，提高了工作效率，执行的动作准确、安全可靠。此外，本实用新型提供的装置不需要人工操作，消除了操作人员被烫伤的安全隐患。

主权项

一种多晶炉管道自动控制装置，用于连接真空腔室的抽气口和气冷系统的抽气管道，其特征在于，所述装置包括水冷套和套设在所述水冷套外部的真空波纹管，所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面贴在所述抽气口的法兰上，所述水冷套的法兰的另一面固定在所述真空波纹管靠近所述抽气口的一端的法兰上，所述真空波纹管靠近所述抽气管道的一端的法兰固定在所述抽气管道的法兰上；所述装置还包括分别设置在所述真空波纹管两侧的预紧机构和微调机构，所述预紧机构使所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面与所述抽气口的法兰贴合或脱开，所述微调机构使所述水冷套的法兰靠近所述抽气口的一面与所述抽气口的法兰紧贴。