一种旋转靶材芯轴机构

摘要

本实用新型公开一种旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。本实用新型改变原有的冷却液流道，进而获得扩大冷却液的流量及流速，从而达到更好的冷却效果，进而确保旋转靶材在喷涂过程中不会因温度过高而出现损坏的现象。

主权项

一种旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，其特征在于：所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头内均具开设有通孔，所述通孔包括沿着左、右端头轴心开设的直孔，及多通交叉孔，所述多通交叉孔与左、右端头中直孔底端连通，该多通交叉孔与中空背管连通，从而获得沿左或右端头的通孔、中空背管及右或左端头的通孔相互连通形成的实现冷却液流通的冷却流道。