一种非对称像差补偿装置

摘要

一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，该多个驱动器能对被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差。这种装置具有结构简单，装配难度小；稳定可靠；操作方便等优点。此外，还克服了现有技术中可动镜片对高阶非对称像差无法补偿的难题，通过控制光学元件表面各个区域的面形变化，实现了高阶非对称像差的校正补偿。

主权项

一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，所述多个驱动器能对所述被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差，每个所述驱动器都具有一电机、一固定于电机上的电机垫块和一活塞组件， 所述被补偿镜片周边具有多个与所述驱动器对应设置的小球，其特征在于，所述活塞组件通过螺纹形式垂直固定于上镜座上，其位置与所述电机的位置一一对应，所述活塞组件的压力和所述电机的驱动力形成一对相互作用力，垂直作用在相应的小球上，限制所述被补偿镜片的垂向移动。