激光加工LED衬底的系统及方法

摘要

本发明提供了一种激光加工LED衬底的系统及方法，该系统包括：飞秒脉冲种子激光源；激光放大扩束装置，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行能量放大、扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底内或其表面上。本发明能够采用飞秒激光对LED衬底进行加工，有利于整合减薄和划片工艺，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种激光加工LED衬底的系统，其特征在于，包括：飞秒脉冲种子激光源；激光放大扩束装置，对所述飞秒脉冲种子激光源发出的飞秒脉冲激光进行能量放大、扩束和线聚焦，输出线状光斑，所述线状光斑的长度大于等于LED衬底的直径；承载部件，用于承载所述LED衬底，所述线状光斑聚焦在所述LED衬底内或其表面上以对所述LED衬底进行减薄和/或划片操作；其中，所述激光放大扩束装置包括：激光放大器，对所述飞秒脉冲激光进行能量放大；扩束透镜组合装置，对来自所述激光放大器的激光束进行扩束，使其尺寸覆盖所述LED衬底；柱透镜，对来自所述扩束透镜组合装置的激光束进行线聚焦，输出所述线状光斑；光闸，所述激光放大器输出的激光束经过所述光闸后传输至所述扩束透镜组合装置；步进电机，驱动所述承载部件带动所述LED衬底沿垂直于所述线状光斑的方向移动，所述LED衬底在垂直于所述线状光斑的方向上划分为多步，所述步进电机带动所述LED衬底逐步移动以使所述线状光斑逐步扫描所述LED衬底；同步控制器，对所述步进电机和光闸进行同步控制，使所述步进电机每移动一步后照射至所述LED衬底上的激光脉冲数目相同。