流控制器

摘要

一种流控制器(10)，其包括流速检测单元(14)和流速控制单元(18)，该流速检测单元(14)具有用于检测流体的流速的检测单元(12)，该流速控制单元(18)被联接到流速检测单元(14)并且能够调节流体的流速。组成检测单元(12)的检测传感器(18)包括利用MEMS技术的热流量传感器，由检测传感器(18)检测的流体的流速被输出到控制单元(24)。另外，在流速控制单元(18)中，空气至供应室(84)的供应状态通过供应电磁阀(92)和排出电磁阀(94)中其中一个被切换，并且根据空气的供应状态，打开和闭合控制阀(58)。

主权项

一种流控制器，其特征在于，包含：本体(22，30)，所述本体(22，30)具有设置在上游侧的第一通道(20)、设置在所述第一通道(20)的下游侧的第二通道(62)和设置在所述第一通道(20)和所述第二通道(62)之间的节流部(32)，流体流动经过所述第一通道(20)；流速检测器(14)，所述流速检测器(14)被设置在所述本体(22，30)上，并且具有检测单元(12)，所述检测单元(12)能够检测从所述第一通道(20)流到所述第二通道(62)的流体的流速；流速控制器(18)，所述流速控制器(18)用于控制流经阀体(64)的流体的流速并且被设置成平行于所述流速检测器(14)，所述流速控制器(18)包括隔板组件(72)、所述阀体(64)和弹簧(78)，所述隔板组件(72)通过被供应的控制气流被位移，所述阀体(64)通过螺栓(97)固定地连接到杆(74)的远离所述隔板组件(72)的一端，并且通过所述杆(74)被连接到所述隔板组件(72)，所述弹簧(78)在使所述阀体(64)被容纳在阀座(66)上的方向上推动所述阀体(64)，所述阀座(66)形成在所述本体(22，30)中；其中，所述检测单元(12)由MEMS传感器组成，所述流速控制器(18)进一步包括平衡结构，所述平衡结构用于平衡从所述隔板组件(72)施加到所述阀体(64)的按压力和从所述弹簧(78)施加到所述阀体(64)的按压力。